ピラニ真空計とは？意味やわかりやすい解説
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ピラニ真空計について
空気の希薄度を測定する計器で、容器内の空間の真空度を測定することに用いられている。その原理は圧力に比例して気体の熱伝導度が変化することを利用している。加熱されている金属の細線の温度は気体の圧力に反比例するので、この温度変化に伴う電気抵抗の変化をホイーストンブリッジ回路で測定し、間接的に真空度を計る。真空熱処理炉の真空度測定などに利用されている。